晶圓測試自動探針臺

時間：2019-03-30作者：河北西五科技有限公司瀏覽：69

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  詞條說明

• 半導(dǎo)體晶圓中測設(shè)備-探針臺

  晶圓測試探針臺和測試機(jī)是晶圓測試環(huán)節(jié)的**設(shè)備。探針臺的主要作用是將晶圓和測試機(jī)相連接，具體過程為：探針臺將晶圓逐片自動傳送至測試位置，芯片的pad點(diǎn)通過探針、**連接線與測試機(jī)的功能模塊進(jìn)行連接，測試機(jī)對芯片施加輸入信號、采集輸出信號，并將測試結(jié)果通過傳送給探針臺，探針臺據(jù)此對芯片進(jìn)行打點(diǎn)標(biāo)記，行程晶圓的Map圖。另外，探針卡作為重要的耗材，是將晶圓的DUT板相連接的測試接口，通過探針與晶圓上每

• 晶圓測試自動探針臺

  探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。 廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本特性。 半自動型 chuck尺寸800mm/600mm X,Y電動移動行程200mm/150mm chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm 可搭配金相顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡 針座擺放個數(shù)6～8顆 顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2